技术编号:3376199
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明金属薄膜的制备方法,尤其是一种具有超高强度纳米晶金属Ru薄膜的制备方法,采用直流磁控溅射法,通过调节衬底温度与功率制备出不同晶粒尺寸的纳米晶金属Ru薄膜,最小晶粒尺寸可控制在20纳米,最高硬度可达18. IGPa0背景技术金属Ru由于具有优秀的力学、物理和化学性能而受到广泛关注。金属Ru是极好的催化剂,可用于氢化、异构化、氧化和重整反应中;在温度为100°c时,对普通的酸包括王水在内均具有良好的抵抗能力。另外,金属Ru还具有极高的熔点(2250°C)...
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