技术编号:3376937
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置,特别关于一种镀膜制程腔气体导入装置,达到气体均匀分布于镀膜制程腔内,完成均匀分布的电浆范围。背景技术当前,镀膜技术中之派镀法(Sputtering),其原理是在一真空腔体中通入工作气体,通常为Ar,并以靶材为阴极,使得工作气体在高压电场作用下被解离成离子与电子状态,形成电浆,电浆中的正离子于高压电场中会加速移动并轰击阴极靶材(Target)的表面,使靶材原子溅飞出并沉积、附着在光伏玻璃的表面上,以形成薄膜;现有...
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