技术编号:3376996
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能硅片PECVD加工设备领域,具体为板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台。背景技术板式PECVD设备的进料口与出料口分别位于设备的两端,以往分别需要在进料口侧与出料口侧设置相应的硅片上料机构和硅片下料机构,其设备占用空间大、设备成本高, 且硅片的上下料效率低,为此目前的自动上下料系统为了能达到缩小设备占用空间、降低设备成本、并提高硅片上下料效率将整个硅片上料机构与下料机构集成设置于PECVD设备的进料口侧,因此在PECVD设备的出料口...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。