技术编号:3377320
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及等离子体材料表面强化,特别涉及一种带过滤屏的阴极弧离子镀装置。背景技术阴极弧离子镀是目前最常用的工模具表面强化技术之一。阴极弧离子镀是采用电弧放电的方法,在固体的阴极靶材表面存在的微凸起尖端产生高电流密度的场致发射,由于电流局部集中产生的热量使温度上升,又产生热电子,场致发射转化微热-场致发射,进而微凸起蒸发并被电离,同时,因离子轰击微凸起,使其熔化并形成小熔池。熔池内在熔化金属和中性粒子因离子轰击与等离子体一道喷发出来,飞溅喷射到沉积生长的...
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