技术编号:3377833
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种制备硅基薄膜太阳电池的装置,特别适用于制备非晶/微晶叠层硅基薄膜太阳电池的设备。背景技术目前制备硅基薄膜太阳能电池的装置多为单室系统,这种系统虽然结构简单,但交叉污染较严重,不适合作非晶/微晶叠层电池,且太阳能电池的硅基材料部分与导电电极部分不在同一系统中完成,当硅基材料制造完成后,需要将材料取出,再放入另一装置制备透明导电电极与金属电极,容易引起材料表面氧化及空气中的杂质渗入,导致电池的光电转换效率降低,所以有待改进。发明内容本实用新型...
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