技术编号:3378783
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。上研磨盘和下研磨盘本实用新型涉及一种安装在双盘研磨机上,匹配使用的上研磨盘和下研磨盘。背景技术目前,双盘研磨机是研磨半导体硅片、光学晶片等高精研磨工件的专用机种,上、 下研磨盘为其主要工作部件,直接主导着研磨产品的品质和技术参数。上研磨盘安装在垂直升降的支架上,下研磨盘设设置在与上研磨盘相对应的机座上,工件放置在下研磨盘的载体孔内。作业时,上研磨盘降至下研磨盘研磨面,两者作异向平行旋转合磨,与此同时,研磨液经多根上管道流入相应的上研磨盘流液孔内,并通过流液...
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