技术编号：3378947
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用在阴极弧离子镀膜设备中的蒸发源，尤其涉及一种在高真空环境下小电弧蒸发源也能低电流稳弧的阴极弧高真空低电流稳定装置。背景技术阴极弧离子镀膜设备是用阴极弧作为蒸发源在高真空系统中，在镀件上施加负偏压所组成的一个镀膜系统。主要用于车漆镀膜、装饰涂层、工模具涂层、光电薄膜等。而其中的蒸发源其形状尺寸均有一个范围。圆形小平面真空镀膜靶直径一般为60—100mm，矩形平面真空镀膜靶长度为1000— 1500mm，柱状真空镀膜靶直径为70— 100m...
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