技术编号:3379026
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种磨具,特别涉及一种对陶瓷基片表面进行研磨的磨具。 背景技术现代微电子技术发展异常迅猛,特别是各种光电子器件逐渐在向微型化、大规模集成化、高效率、高可靠性等方向发展。但随着电子系统集成度的提高,其功率密度随之增加,电子元件及系统整体工作产生热量上升、系统工作温度升高会引起半导体器件性能恶化、器件破坏、分层等,甚至使封装的芯片烧毁,因此为了防止芯片烧毁,在电子封装过程中必须解决电子系统的散热问题。电子封装所用的基片是一种底座电子元件,主要为电...
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