技术编号:3380362
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及金属材料的表面处理,具体地说是一种掺硅无氢类金刚石薄膜 的镀制方法。 背景技术掺硅无氢类金刚石薄膜由于具有比类金刚石薄膜低的内应力,提高了薄膜 的韧性,同时也保持了类金刚石薄膜高硬度、低摩擦系数的性能优点,适用于 精密工件耐磨损表面处理。沉积掺硅无氢类金刚石薄膜必须采用硅或含硅的材 料作为靶材,薄膜中的硅含量较难控制,因此,沉积掺硅无氢类金刚石薄膜研 究进展比较缓慢。掺硅含氢类金刚石薄膜的沉积相对容易实现,沉积掺硅含氢 类金刚石薄膜过程中通入含硅...
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