技术编号：3381068
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜领域，尤其涉及一种用于太阳能光电器件聚焦反射镜的镀膜的装夹工具。背景技术太阳能光电器件聚焦反射镜2的结构为一球冠状，如图1所示，四周在平面上的投影为正方形，截面为圆弧形，中间为一圆孔101。在其内球面真空镀有一层厚度均勻的高反射膜，而外球面不允许镀膜。常用的镀膜方法是蒸发和磁控溅射镀膜技术，因磁控溅射镀膜具有均勻性好，沉积速度一致性好、可控性强的特点成为最佳选择。但是由于其镀膜面为一凹球面，镀膜面每个不同的圆周与溅射靶材的距离不同，单位时...
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