技术编号:3381535
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空镀膜设备,特别是一种镀膜机真空室的结构。 背景技术真空镀膜设备系列的一个设备是真空室。在真空室里,既要安放预备镀膜的工件, 又要布放一些真空设备元件。当然,真空室本身还是要抽真空的。为达到较高的真空度,需要消耗大量能源,电耗便成为真空镀膜生产成本中的重要组成部分。然而,对于真空室室体的改进,研究得并不充分,这里面有一个技术偏见的原因,以为室体改进的空间不大,意义有限。事实上,研发无极限!在真空室改进方面仍然是有作为的。例如,专利号98...
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