技术编号：33820449
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于红外材料生长领域，具体涉及一种高均匀性硫化锌多晶红外材料的生长方法。背景技术.化学气相沉积法(cvd法chemicalvapordeposition)是利用气态物质在固体表面发生化学反应，生成固态沉积物的过程。高均匀性红外材料的生长一般选择化学气相沉积法，化学气相沉积过程中的生长速率为每小时微米级，相对毫米级或者厘米级使用的硫化锌产品厚度生长时间是非常长的。硫化锌的生长过程中一般是柱状多晶生长，垂直于沉积基板方向进行生长，因沉积过程较长，在前期生长得到的产品，随着沉积时间的不断增...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。