技术编号：33829363
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光学元件吸盘的设计领域，尤其涉及一种吸盘气道的设计方法、吸盘和设计装置。背景技术.在光学元件加工和使用中，装载的方式对光学元件面形的影响已经不可忽略。在光学元件加工时，主要采用胶合方式，将光学元件固定在安装平台上，这会导致光学元件的面形发生改变，从而影响光学元件的面形加工精度。在光学元件使用时，其面形的改变则会影响反射或透射的光束波面，并对最终的成像质量/光斑聚焦有着不可忽略的影响。.真空吸附具有夹紧力均匀、稳定，可以实现工件的快速装夹和传输，在电子、医疗和机械加工等方面都有广...
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