技术编号:3384072
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于化学机械研磨的领域,尤指一种研磨垫调节器的弧形刀刃状处理面及其制造模具结构。背景技术随着时代的求新演进,以及高科技电子消费市场的竞争,直接牵动所有晶圆制程设计朝高密度化处理,所有晶圆制程都面临了高度的挑战。其中,因为晶片的集成电路随着线幅不断细小化,而产生对晶圆制程面的平坦化 (Planarization)的强烈需求,以解决微影制程中的高低差所产生的聚焦困难问题,故利用一般常见的化学性机械研磨法(Chemical Mechanical Pol...
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