技术编号:33841717
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及电子显微镜技术领域,更具体地,涉及一种场发射扫描电子显微镜。背景技术.场发射扫描电子显微镜是电子显微镜的一种,因其分辨率高、景深大、图像更富立体感、放大倍数可调范围宽等优点而被广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件等的检测。.场发射扫描电子显微镜在应用过程中需要电子束的束流连续可调,以应对多种场景的分析需求。在一些相关技术中,采用单孔光阑束流控制镜像方束张角控制镜的系统方案。可实现不同束流下的分辨率最优化,或者最佳景深。.但是,在切换不同工况时,束流控制镜和像方张角控...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。