技术编号:3384282
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide,TC0)薄膜沉积设备,尤其涉及一种氧化锌(ZnO)薄膜沉积设备。背景技术现有技术中的氧化锌(ZnO)薄膜沉积设备如图1所示,其包含反应腔11,所述反应腔11内包含设置在该反应腔11顶部的喷淋头12,设置在该反应腔11底部的用于放置基板 14的基板加热底座13,且所述基板加热底座13与所述喷淋头12相对设置。所述反应腔11 的上壁与喷淋头12之间的区域形成反应气体混合...
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