技术编号:3385118
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种脉冲阴极弧放电电极[0001]本实用新型涉及放电电极,特别是涉及一种脉冲阴极弧放电电极。技术背景[0002]脉冲阴极弧光放电是发生在真空室中两金属电极间的一种低电压、高电流的等离子体放电现象。当在阴阳两极间施加一定的直流电压,并对阴极靶进行触发时,阴极靶就会被激发起弧,阴阳两极间将产生强大的阴极弧电流。在阴极,弧电流点高度集中在靶表面少数点状区域,这些点状区域被称为阴极斑点。在阴极斑点处产生离子云对阴极表面产生拽拉效应的强电场,从阴极斑点处产生的金属蒸...
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