技术编号:33854775
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于多晶硅制备领域,特别涉及一种多晶硅生产装置尾气处理系统。背景技术.目前改良西门子法多晶硅生产工艺还原尾气均采用多级换热的方式,将还原尾气冷凝至-℃,将为其中的三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅以及高沸物冷凝为液相进行收集。尾气中夹带的硅粉被冷凝的液相冲洗至凝液收集装置,收集的含硅粉的氯硅烷送至分离塔将轻组分(三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅)和重组分(硅粉、四氯化硅、高沸物)进行简单分离。目前的尾气处理工艺存在如下问题:()含硅粉气相对换热器管束磨损严重,需定期更换换热设备;...
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