技术编号:33862080
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及光伏电池生产技术领域,尤其涉及一种异质结电池载板。背景技术.硅异质结(hjt)光伏电池的生产需经过清洗制绒、等离子增强型化学气相淀积(pecvd)镀非晶硅、透明导电膜(tco)和丝网印刷等工序,镀tco导电膜常采用反应等离子沉积法(rpd),rpd镀膜工序为:载板布片→进料→缓冲→镀膜→缓冲→出料→卸片翻面→载板布片→进料→缓冲→镀膜→缓冲→出料。.其中,载板作为硅片的载体在腔体行进过程中进行镀膜,为在载板上可以更好的布片,其需要在载板的口袋上放置边缘承载,加上rp...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。