技术编号:3386221
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种太阳能电池片的生产装置。 背景技术随着太阳能电池湿法刻蚀技术的发展,漏电问题得到较好解决,同时碎片率较干法刻蚀有较大改善,且背面刻蚀后形成抛光面,有利于电性能提升。但同时湿法刻蚀也易造成刻蚀不够或者刻蚀过多等问题,致使正反面导通,扩散面PN结被破坏,受光面积减少,从而导致漏电较大,电池性能急剧下降等问题。所以,湿法刻蚀的关键是要保证刻蚀完全,同时扩散面PN结不被破坏,减小漏电并最大限度的增加受光面积。刻蚀机利用水膜喷淋覆盖技术,在扩散面喷...
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