技术编号:3387162
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。[0001]本实用新型涉及研磨装置及其测量装置领域,特别是通过一定的装置来数值化的控制工艺中每个步骤的研磨量。背景技术研磨是在刚性研具(如铸铁、锡、铝等软质金属或者硬木、塑料等)上注入不同规格磨料,在一定的压力下,通过研具和工件的相对滑动,借助磨粒的切削去除加工表面微量材料。研磨过程对材料表面的去除量是微米级的,在平面研磨过程中,固定在基盘上的工件与研磨盘进行相对的滑动,通常情况下,我们只能等到工件从基盘上拆卸后才能得知工件被去除的厚度值,中间过程我们根本...
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