技术编号:3387202
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种钻石晶圆抛光机。背景技术目前,钻石晶圆抛光机的各个主轴都为联动状态,动カ部分同时驱动各主轴进行联动工作,实际上由于不同钻石晶圆需要加工的程度不同,现有抛光机同步加工的方式存在ー些弊端,即不能根据需要加工的钻石情况选择适当的加工程度转速、正方转、研磨时间等。实用新型内容本实用新型针对目前现有状况存在的问题和不足,提出一种钻石晶圆抛光机。本实用新型所采用的技术方案一种钻石晶圆抛光机,包括支架,磨盘,主轴机构, 以及主轴机构的动カ系统和磨盘的动...
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