技术编号:3387886
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种水滴清理装置,尤其涉及的是一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置。背景技术现有的靶位溅射室在给玻璃镀膜的过程中需要给玻璃降温,在靶位溅射室的顶盖上设有冷却水进水管和出水管,冷却水从进水管进入,经过热交换后,热水从出水管出来,如此循环,给镀膜玻璃降温。但是,现有技术存在以下问题如果需要对靶位溅射室进行维修保养时,需要把靶位溅射室的顶盖掀开才能进行维修保养,但因冷却水进水管和出水管是设置在顶盖上的, 如果直接把顶盖掀开就会把遗留在进水管和出水管内的...
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