技术编号:3387902
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅晶棒的磨锥打孔设备,具体涉及一种多晶硅磨锥打孔专用机。背景技术多晶硅属于特殊工件,硬度大,易碎。目前现有的多晶磨锥打孔机价格比较昂贵,而相对来说普通机械研磨机价格比较便宜,但是普通机械研磨机不能对不同规格的晶棒进行磨锥打孔,使得对多晶硅棒进行磨锥打孔成本较高。发明内容本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种多晶硅磨锥打孔专用机。该多晶硅磨锥打孔专用机是在原有技术基础上的改进,增加一个夹具,使机械研磨机能对不同规格的晶棒进行...
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