技术编号：3388317
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械系统(MEMS)加工工艺，尤其涉及一种凸角微结构的腐蚀补偿方法。背景技术 MEMS作为起源于20世纪60年代的多学科和先进制造技术，对改善人们的生活质量、提高人们的生活水平以及增强国力起到了重要的作用。MEMS器件和系统集体积小、重量轻、功耗低、机械电子合一等特点于一身，在航空、航天、汽车、生物医学等诸多领域有着十分广阔的应用前景。但由于强烈的多学科交叉特征，MEMS的研究方式和加工技术具有多样性。在众多的MEMS加工技术中，硅工艺正在...
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