技术编号:3388820
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电子束蒸发,特别涉及ー种双坩埚电子枪。背景技术电子枪是产生电子束的部件,由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。其原理是阴极和栅极处于相同的负电位,阳极接地电位。阴极由交流供电加热,使之发射电子,电子受栅极电位的影响,在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在磁场的作用下,电子束得到进一步聚焦并偏转270°或180°射入装有被镀膜料的坩埚中,其动能变成热能使材料蒸发沉积于基片上,达到所需膜层的要求。目前常用的电子枪只设有ー个坩埚,其电子束只能实 现27...
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