技术编号:3389053
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。通过反应性阴极电弧蒸发合成金属氧化物为建立用于氧化物沉积的阴极电弧蒸发,人们进行了多年研究。与工艺稳定性和液滴形成(droplet formation)有关的问题妨碍了此技术在生产中的大规模应用,并引发了制造用于光学和其它专用应用的氧化物的过滤电弧技术的开发[1]。尽管在用于导电层材料的PVD工具涂覆行业中阴极电弧技术得到了很好的理解且是主导技术,但直到最近由于一种专用生产技术(P3e )[2]的开发才使利用此技术来沉积用于耐磨涂层的氧化物成为可能。此技术...
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