技术编号:3389395
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成含有第四族原子作为主要组成原子的功能沉积膜,或含有硅原子和第四族原子作为主要组成原子的功能沉积膜的改进了的方法,该功能沉积膜可专门作半导体器件的光导元件和用在电子摄象技术,象输入线路传感器,摄象装置,光电动势装置或类似装置的光敏器件。更具体地说,本发明涉及在基片上有效地形成功能沉积膜的改进了的方法,这是通过用氢气或氢气与惰性气体组成的混合气体被微波等离子体造成处于激发态的激发的氢原子,并使所述激发态的氢原子与成膜原料气体或单独激活的成膜原料气...
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