用于制作浇注在可旋转基体上的整体式多孔垫的方法和材料的制作方法技术资料下载

技术编号:3390758

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相关申请的交叉参考本专利申请要求2003年8月8日提交的序列号为No.60/493992的美国临时专利申请的优先权,其发明人为BriantEnoch Benson,名称为“使用浇注在可旋转基体上的整体式多孔垫从基板上去除材料的方法”,其全部内容在此被引作参考;本专利申请还要求2003年8月8日提交的序列号为No.60/493755的美国临时专利申请的优先权,其发明人为Briant Enoch Benson,名称为“用于制作形成于可旋转基体上的整体式多孔垫的...
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