技术编号：3391209
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。整体式蒸发源电极涉及真空金属蒸发镀膜工艺及其设备。目前真空金属蒸发镀膜的蒸发源是采用分体式电极，它由电极、夹具、压板等多部组成，由于分体使得电极内、电极与蒸发舟之间电、热传导不良，经常至使电极烧坏，并使蒸发效果变差、镀层不均匀，出现黑边、白边、漏镀等质量问题。本实用新型的目的是提供一种整体式电极，以彻底解决上述问题。本实用新型的解决方案是T型圆柱体电极下端垂直钻有水冷孔，其边缘攻丝，上部横切U型蒸发舟槽。以下结合附图给出说明附图说明图1是本实用新型结构图。...
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