技术编号:3392448
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,属于化学气相沉积领域。金刚石的物理、电、气、光、热及电子特性在许多方面都优于其它材料,其最显著的特性包括高热导率、硬度比其它的涂层材料高几个数量级和高的迁移率。金刚石薄膜的应用十分广泛,遍布在各个领域,特别是近年来人造金刚石薄膜技术引起世界各国广泛的重视,出现蓬勃发展的局面,当前金刚石合成方法有很多种,主要是向保护减压下的等离子发生室及反应室导入含有碳化氢或氧化碳形成薄膜的气体,从外部对该气体施加磁场以及微波电力,使其在10-5Pa直至常压...
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