技术编号：3392462
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种，涉及金属材料的扩散处理领域。太阳能选择性吸收溅射涂层对太阳光谱具有强烈的吸收作用。它们大多是由红外线透过率高的外层和对红外线有高反射率，低发射率的金属膜层构成。目前，太阳能有选择性吸收溅射涂层的工艺方法，多是采用磁控溅射镀膜，材料主要是碳、氧金属化合物和氮金属化合物。常选用二种金属为溅射靶，一个靶子在工作时，另一个靶(阴极)需遮蔽。这样不仅生产效率低，设备成本高，而且工艺复杂。若选择用乙炔气体为反应气体，制备金属碳化物涂层，需高温环境且要求基...
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