技术编号：3392900
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种化学处理基片的方法，其中至少一块基片顺次经过化学处理、洗涤和干燥，并且涉及一种完成上述化学处理的装置。迄今，自动化的湿法处理装置具有一系列的槽或容器来完成这种湿法化学处理工序。基片，例如硅晶片，在经过某些化学工艺系列后分别浸入洗涤或冲洗槽中，最后干燥。基片的干燥，可以用例如离心机进行，但也可以在基片从洗涤槽中缓慢移出的过程中进行。在欧洲专利文献0385536中已发表过称为Marangoni的干燥器。在该专利公开的方法中，除了从浴槽中缓慢移出基...
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