技术编号:3393460
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及约纳米级的细小金刚石晶体所形成的纳米晶体金刚石薄膜。本发明还涉及制造该纳米晶体金刚石薄膜的方法以及使用这种纳米晶体金刚石薄膜的各种装置。背景技术 众所周知,由于碳原子借助于sp3杂化轨道通过共价键相互键合所形成的一类金刚石的高键合能,它具有其它类型材料所不能具有的特殊物理性能。近年来,通过使用化学气相沉积方法(CVD方法)已经可以合成类似薄膜的金刚石(薄膜金刚石)。在此形成薄膜的方法中,一般使用热丝CVD方法或微波CVD方法。根据这些形成金刚石薄...
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