技术编号：3393468
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体涉及一种用于涂覆衬底的系统。更具体地说，本发明 涉及一种等离子弧涂覆系统。技术背景现有的多等离子弧涂覆器包括电阻加热器，以便在衬底进入涂覆 腔室或涂覆站之前预热衬底。这些加热器沿衬底运动方向延伸较长距 离。而且，这些加热器沿与衬底运动垂直的方向具有较低的空间分辨 率，且相对于衬底在加热器站中的滞留时间具有较慢的热响应时间。在涂覆处理过程中，多个涂覆站连续供给试剂，例如，涂覆站使 用用于各个等离子弧的环形歧管或用于电弧阵列的跑道形(racetrac...
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