技术编号：3393674
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及含高纯度氧化铈的铈系研磨材料及铈系研磨材料淤浆。 背景技术铈系研磨材料(以下简称为研磨材料)以往作为玻璃材料的研磨用材料被广泛使用。特别是近年来因为硬盘及液晶显示器(LCD)、光掩模等电气，电子 设备领域的快速成长，所以作为它们的玻璃基板等的研磨材料其需求增大。这里，在上述电气 电子设备等领域中，随着小型化和高密度化的发展， 对于基板等玻璃研磨面要求更高的研磨精度。因此，近年来在这些领域中采用 了铈含量高的高纯度铈系研磨材料。该高纯度铈系研磨材料...
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