技术编号:3393842
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造半导体装置的设备,并且具体而言涉及一种用于制造液晶显示装置的等离子设备的基板支撑构件。背景技术 具有轻便性和低能耗的平板显示(FPD)装置已成为在现今信息时代被越来越多人所研究的课题。在各种类型的FPD装置中,由于其具有高分辨率、显示彩色图像的能力和高质量图像显示的优点,液晶显示(LCD)装置通常被用于笔记本电脑和台式电脑中。一般而言,LCD装置是无辐射装置,其具有一个阵列基板、一个彩色过滤基板和一个插在所述阵列基板与所述彩色过滤基板之间...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。