技术编号:3394366
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及金属及合金薄膜的制备方法和化学气相淀积。随着薄膜技术和现代科技的发展,金属及其合金膜的应用领域日益拓展。从最早的装饰膜材料(玻璃镀金属膜,塑料镀金属膜),发展到应用在电子学和微电子学领域的金属薄膜电阻器、金属膜与半导体接触构成的肖特基(Schottky)器件、以及可广泛用于平面显示和太阳能利用方面的金属透明导电膜。随着功能性金属材料的发展,金属及其合金膜又出现一些新的应用领域,如金属多层膜具有巨磁阻效应,Ni-Fe、Co-Cr等金属合金膜已应用于...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。