技术编号:3394379
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种吸附片材,更特别有关于一种连通多孔性吸附片材,其表面具有良好平坦性及高吸附性。背景技术 参考图1,其显示习知抛光装置2,用以抛光各种待抛光基材的表面,诸如半导体基板或玻璃基板的表面。详细而言,一连通多孔性(continuous porous)片材13是由树脂(resin)所制,并藉由粘胶12固定于一下平台11上。一模板(template)14是固定于该连通多孔性片材13上,并具有一贯穿开口15,可用以容纳该待抛光基材20而定位该待抛光基材...
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