技术编号:33945740
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。ic器件的量产测试系统【技术领域】.本发明涉及微机电系统器件的测试技术领域,尤其涉及一种ic器件的量产测试系统。【背景技术】.mems器件,是指具有微机电系统(micro-electro-mechanical system,mems),且尺寸仅有几毫米乃至更小的高科技电子机械器件,其加工工艺融合了光刻、腐蚀、薄膜、liga、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工技术。.带有ic(improved inter integrated circuit)接口的mems器件投入实际应用时,有许多需...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。