技术编号:33962999
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种板式pecvd自动化平台的载板支撑机构技术领域.本实用新型涉及光伏组件生产技术领域,具体为一种板式pecvd自动化平台的载板支撑机构。背景技术.在异质结太阳能电池的生产过程中,pecvd无疑是最为关键的工序,该工序制作的pn结是发生光生伏特效应的基础,由于pecvd为沉积式镀膜,且为了有较好镀膜均一性,因此目前异质结电池片生产所用的cvd设备主要为板式pecvd自动化平台,其工艺流程为:进行过表面清洗和织构化处理的n型单晶硅片经自动化平台从花篮上料到n型专用载板进cvd设备,依次制作本征...
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