技术编号:3396701
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及制备薄膜设备中用的加热装置。薄膜制备技术是当今世界上最重要的技术之一,它被广泛应用于工业,军工,医药,航天,科研等各个领域。到目前为止人们已经发展了几十种薄膜制备技术。但是无论哪种薄膜制备系统中基片加热器都是关键部件。基片加热器的性能是用以下指标来表征的1.动态范围,即最低可用温度到最高可用温度区间的大小。2.恒温区面积3.恒温区内温度均匀性和时间稳定性4.高温条件下变形度5.在全动态范围内的化学稳定性6.抗破坏能力7.成本8.使用寿命在现有...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。