技术编号:3396915
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种纳米复合类金刚石(DLC)涂层及其制备方法,属于薄膜材料领域。背景技术 类金刚石膜是一种主要由sp2键和sp3键组成的混合无序的亚稳态的非晶碳膜,分为含氢非晶碳膜(a-CH)和无氢非晶碳膜(a-C)。具有低摩擦系数、高硬度、高弹性模量、高耐磨性和热导率,良好的化学稳定性和抗腐蚀能力等一系列独特的性能。80年代以来,一直是全世界研究的热点。DLC制备技术包括CVD(化学气相沉积)和PVD(物理气相沉积)两种,CVD方法如等离子辅助化学沉积(PE...
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