技术编号:3397813
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在刀具上沉积细粒的、结晶Al2O3(氧化铝)涂层的方法,其中刀具基材为烧结硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或高速钢,该方法是用化学反应物AlCl3、O2、H2和Ar通过等离子体化学气相沉积法(PACVD)进行的。等离子体是通过加在两个电极或两组电极上的双极脉冲直流电压而产生的。通过本发明的方法,可以高沉积速率、平稳、高质量地沉积由单相γ-Al2O3或γ-和α-Al2O3混合物组成的涂层。当用于刀具时,所述的涂层具有良好的耐磨性。根据本发明的方法,结晶...
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