技术编号:3397831
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及镀膜,尤其涉及一种真空镀膜方法和系统。背景技术 连续式真空镀膜方法通过串连若干个真空室,将抽真空和镀膜这两个步骤分开,并将其各自继续细分为若干个抽真空和镀膜的子步骤,这样逐级过渡的设计使得多批样品可以同时在不同的真空室内抽真空,从而大大减小抽真空过程所耗费的时间,减小物品镀膜周期,实现连续真空镀膜。普通的连续式真空镀膜有两个基本特征,一是具有若干个真空室,它们位于真空镀膜室的两侧,通常相对真空镀膜室呈对称布置,这些真空室的用途是对镀膜物品进行真空...
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