技术编号:3398480
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于生产透明导电薄膜的主要由In和Zn氧化物组成的IZO溅射靶,该靶的体电阻低,本发明还涉及这样一种IZO溅射靶的制造方法。背景技术 由一些金属间氧化物组成的透明导电薄膜具有高的电导率和可见光透过率,它们有各种应用,例如液晶显示设备、薄膜电发光显示设备、放射性传感器、用于终端设备的透明图形输入板、防止窗玻璃露水冷凝的加热薄膜、用于抗静电薄膜或太阳能热收集器的选择性渗透膜,以及触摸板的电极。由金属间氧化物组成的这样透明导电薄膜中,最普遍使用的是由氧...
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