技术编号:3398999
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景技术本发明涉及一种用来磨削和刨削基片的机床,所述机床包括至少一个可转动的磨削盘,所述基片置于磨削盘上被磨削;一个可移动的磨削头,所述磨削头在一个升高的位置和一个降低的位置之间移动,并且其上布置有一个用来支撑基片的支撑元件;一个可转动的磨削臂,所述磨削臂可移动磨削头而从载运台上拣取将被磨削的基片,并且将磨削后的基片送到卸物台上;至少一个用来驱动磨削盘及驱动转动的磨削头的支撑元件的机构,所述机构用来改变磨削臂及载运台和卸物台的运动;一个在磨削过程中用来控制...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。