技术编号：3399024
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 相关申请本申请是1997年6月5日提出的申请的接续，其专利申请号为08/870,082的接续。由于在这种半导体器件上的扫描线宽度和元件尺寸变窄，所以在所述半导体器件上的电学元件密度日益提高。例如，在所述器件上扫描线宽度通常的范围为1μm到4μm。然而，这些年来，只就用于集成电路的扫描线宽度已减小至1μm以下来说，工业已取得了巨大的进步。目前，0.5-0.35μm的扫描线宽度是普通的，并且正在研究如何达到0.25-0.18μm的扫描线宽度。此外，提...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。