技术编号：3399071
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及铁电薄膜材料，具体是指一种可与读出电路集成的锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜材料的制备方法。背景技术 铁电材料是一类强介电材料，其介电常数可高达102～106。铁电材料具有优良的铁电、压电、热释电、电光、声光及非线性光学性能，具有其它材料不可比拟的优越性能。铁电材料的这些特殊性质使得它在超声换能器件、微机电耦合器件、高容量电容器、铁电存储器、电光快门、光控器件、成像与显示器件等多方面都具有广泛的应用前景。因此，它的制备技术及特性的研究得到了人们的广泛重...
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