技术编号:3399385
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于薄膜制程领域,特别涉及一种具有镀膜膜厚监控功能的。背景技术目前,薄膜制程技术广泛应用于半导体工业及精密机械上,由于利用薄膜制程技术所生产的产品具有很高附加价值,使薄膜制程技术与薄膜材料被广泛应用于研究和实际,同时带来镀膜技术的迅速发展。通常,镀膜方法主要包括离子镀膜法、射频磁控溅镀、真空蒸发法、化学气相沉积法等。然而,随着集成电路的密集及微型化,精密机械的精度提升,对于镀膜厚度要求愈渐严苛。例如有些滤光薄膜要求薄膜层数高达数十层之多,从而使得薄...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。